В этой части IEC 60050 представлена общая терминология, используемая для микроэлектромеханических устройств, включая процесс производства таких устройств. Он имеет статус горизонтального стандарта в соответствии с Руководством МЭК 108@ «Руководство по обеспечению согласованности публикаций МЭК» ?C Применение горизонтальных стандартов. Эта терминология соответствует терминологии, разработанной в других специализированных частях IEV. Настоящий горизонтальный стандарт в первую очередь предназначен для использования техническими комитетами при подготовке стандартов в соответствии с принципами, изложенными в Руководстве МЭК 108. Одной из обязанностей технического комитета является@, где это применимо@, использование горизонтальных стандартов при подготовке. своих публикаций.
IEC 60050-523:2018 История
2019IEC 60050-523:2018/AMD1:2019 Поправка 1 – Международный электротехнический словарь (IEV) – Часть 523: Микроэлектромеханические системы (MEMS)
2018IEC 60050-523:2018 Международный электротехнический словарь (IEV) - Часть 523: Микроэлектромеханические устройства