T/BSPT 002-2018
Изготовление микро/нано. Изготовление 3D-наноструктур, сформированных деформацией посредством ионно-лучевого облучения. (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/BSPT 002-2018

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2018

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/BSPT 002-2018

сфера применения

Технология ионного облучения может заставить коллимированные нанопроволоки или плоские нанопленки изгибаться или складываться в трехмерном пространстве из-за деформации, что имеет важное прикладное значение при создании высокопроизводительных трехмерных микронаноэлектронных устройств, оптоэлектронных устройств и оптических компонентов. . Этот стандарт содержит спецификации для метода обработки для создания трехмерных наноструктур и устройств с использованием технологии индукции деформации при облучении ионным лучом. Организация, выпустившая этот документ, обращает внимание на то, что, когда заявление соответствует настоящему документу, оно может включать манипулирование деформацией коллимированных нанопроволок или плоских нанопленок [7.2 и 7.3]. Конкретное содержание и номер патента: ZL201110113222. Метод наноустройства] и патент № ZL201210540870.9 [Способ получения трехмерной самонесущей микро-нанофункциональной структуры на основе тонкопленочных материалов].

T/BSPT 002-2018 История

• 2018 T/BSPT 002-2018 Изготовление микро/нано. Изготовление 3D-наноструктур, сформированных деформацией посредством ионно-лучевого облучения.