GB/T 34894-2017 Технология микроэлектромеханических систем. Метод измерения градиента деформации МЭМС-микроструктур с использованием оптического интерферометра. (Англоязычная версия)
2017GB/T 34894-2017 Технология микроэлектромеханических систем. Метод измерения градиента деформации МЭМС-микроструктур с использованием оптического интерферометра.