T/ICMTIA TG0011-2022
Мишени для распыления алюминия и алюминиевых сплавов высокой чистоты для интегральных схем (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/ICMTIA TG0011-2022

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2022

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/ICMTIA TG0011-2022

сфера применения

В этом документе указаны технические требования, методы обнаружения, упаковка и транспортировка, а также требования безопасности к распыляемым мишеням из алюминия и алюминиевых сплавов высокой чистоты для интегральных схем. Этот документ распространяется на мишени из алюминия высокой чистоты и алюминиевых сплавов для производства интегральных схем.

T/ICMTIA TG0011-2022 История

• 2022 T/ICMTIA TG0011-2022 Мишени для распыления алюминия и алюминиевых сплавов высокой чистоты для интегральных схем