DIN 32567-5:2015-06 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 5. Вывод поправочных значений для оптических измерительных приборов.
2015DIN 32567-5:2015-06 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 5. Вывод поправочных значений для оптических измерительных приборов.
2015DIN 32567-5:2015 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 5. Вывод поправочных значений для оптических измерительных приборов.