T/CEMIA 024-2021
Практика изготовления кварцевых тиглей для выращивания полупроводникового монокремния (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/CEMIA 024-2021

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2021

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/CEMIA 024-2021

сфера применения

В этом документе установлены процедуры и общие принципы использования кварцевых тиглей, производственного оборудования, основного сырья и вспомогательных материалов, технологии производства, рабочей среды и контроля качества продукции для выращивания полупроводникового монокристаллического кремния. Настоящий документ применим к процессу производства кварцевых тиглей для выращивания полупроводникового монокристалла кремния.

T/CEMIA 024-2021 История

• 2021 T/CEMIA 024-2021 Практика изготовления кварцевых тиглей для выращивания полупроводникового монокремния