ISO 11551:2019
Оптика и фотоника. Лазеры и лазерное оборудование. Метод испытания оптических лазерных компонентов.

Стандартный №

ISO 11551:2019

Дата публикации

2019

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 11551:2019

сфера применения

Интерпретация основного содержания стандарта

Третье издание ISO 11551:2019 заменяет издание 2003 года. Основные изменения включают восемь технических обновлений, в том числе уточнение условий окружающей среды для применения в УФ/ИК-диапазоне (раздел 5), усовершенствование процедур калибровки теплового отклика (7.2.3) и корректировку терминологии регистрации температурного дрейфа (7.3). Настоящий стандарт применяется к измерению поглощательной способности оптических компонентов, таких как лазерные линзы и окна, на определённых длинах волн.

---

Основные требования к тестовой среде

Параметры окружающей среды	Общие условия	Специальные требования к диапазону
Чистота	ISO 14644-1 Класс 7	Глубокий УФ требует продувки азотом
Влажность	<50% отн. влажн.	Для частичных ИК-диапазонов требуется нулевая влажность
Температурная стабильность	±0,5℃	Изоляция полости теплового экрана

---

Процесс калориометрического испытания

1. Калибровка сигнала мощности: используйте стандартный измеритель мощности для сравнения (7.2.1)
2. Установка образца: минимизируйте тепловой контакт между образцом и держателем (пункт 5)
3. Трехэтапное испытание:
   • Период регистрации дрейфа (≥30 с)
   • Период лазерного облучения (5-300 с)
   • Период охлаждения (≥200 с)

Типичный случай применения

В системе эксимерного лазера 193 нм поглощательная способность фторида кальция Линза увеличивала свою плотность мощности со временем при 100 Вт/см². Анализ показал, что это было связано с образованием центров окраски, вызванных УФ-излучением (Приложение А.2). Поглощающую способность удалось снизить на 35% путём отжига.

---

Сравнение методов оценки скорости поглощения

в реальном времени в период охлаждения

Параметры	Экспоненциальный метод	Импульсный метод
Применимое время облучения	≥60 с	≤120 с
Основная формула	α=(γhAh)/∑(micpiP)	α=Text∑(micpi)/[PtB·0,5γc/sinh(0,5γctB)]
Коэффициент теплопотерь	Необходимо подгонять γh	Необходимо подгонять γc

---

Технология коррекции теплопроводности

Для материалов с низкой теплопроводностью (например, оптического стекла) для компенсации погрешности измерения (7.2.3) требуется поправочный коэффициент f_c:

• Поверхностный поглотитель: используйте нагрев поверхности для калибровки образца.
• Объемный поглотитель: используйте нагрев объема для калибровки образца.
• Оптимизируйте положение датчика температуры (Приложение B.3).

---

Рекомендации по внедрению.

1. Для материалов с нелинейным поглощением (например, плавленый кварц 193 нм) необходимо проверить изменение скорости поглощения при различных плотностях мощности (Приложение A.3).
2. Для высокоточных измерений рекомендуется использовать два метода оценки для перекрестной проверки.
3. Испытание УФ-компонента требует регистрации истории облучения (эффект цветового центра).
4. Для испытания толстых образцов обратитесь к ссылкам [1][2], чтобы определить оптимальное положение датчика.