T/CCGA 30003-2019
Сверхчистый трифторид азота (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/CCGA 30003-2019

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2019

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/CCGA 30003-2019

сфера применения

Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, правила проверки, упаковку, маркировку, транспортировку, хранение и безопасность бутилированного сверхчистого трифторида азота. Настоящий стандарт распространяется на электролитический синтез сырого трифторида азота и сверхчистого трифторида азота, полученных путем дистилляционной очистки. В основном он используется в качестве травителя для плазменных процессов и чистящего средства при химическом осаждении из паровой фазы в электронной промышленности.

T/CCGA 30003-2019 История

• 2019 T/CCGA 30003-2019 Сверхчистый трифторид азота

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации