T/CCGA 30003-2019 (Англоязычная версия) Сверхчистый трифторид азота - Стандарты и спецификации PDF

T/CCGA 30003-2019
Сверхчистый трифторид азота (Англоязычная версия)

Стандартный №
T/CCGA 30003-2019
язык
Китайский, Доступно на английском
Дата публикации
2019
Разместил
Group Standards of the People's Republic of China
Последняя версия
T/CCGA 30003-2019
сфера применения
Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, правила проверки, упаковку, маркировку, транспортировку, хранение и безопасность бутилированного сверхчистого трифторида азота. Настоящий стандарт распространяется на электролитический синтез сырого трифторида азота и сверхчистого трифторида азота, полученных путем дистилляционной очистки. В основном он используется в качестве травителя для плазменных процессов и чистящего средства при химическом осаждении из паровой фазы в электронной промышленности.

T/CCGA 30003-2019 История




© 2023. Все права защищены.