T/CCGA 30003-2019
Сверхчистый трифторид азота (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- T/CCGA 30003-2019
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2019
- Разместил
- Group Standards of the People's Republic of China
- Последняя версия
- T/CCGA 30003-2019
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, правила проверки, упаковку, маркировку, транспортировку, хранение и безопасность бутилированного сверхчистого трифторида азота. Настоящий стандарт распространяется на электролитический синтез сырого трифторида азота и сверхчистого трифторида азота, полученных путем дистилляционной очистки. В основном он используется в качестве травителя для плазменных процессов и чистящего средства при химическом осаждении из паровой фазы в электронной промышленности.
T/CCGA 30003-2019 История
- 2019 T/CCGA 30003-2019 Сверхчистый трифторид азота
