GB/T 25915.2-2021
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Мониторинг для получения доказательств эффективности работы чистых помещений, связанной с чистотой воздуха по концентрации частиц. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 25915.2-2021

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2021

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 25915.2-2021

заменять

GB/T 25915.2-2010

сфера применения

Анализ основного содержания стандарта

Ключевые элементы	Версия 2010 г.	Версия 2021 г.
Определение терминов	8 терминов	Оптимизировано до 4 основных терминов с новыми значениями предупреждений и значениями вмешательства
Требования к мониторингу	Демонстрация непрерывного соответствия	Акцент на механизм планирования и непрерывного совершенствования
Технические показатели	В основном статические испытания	Новые требования к анализу данных динамического мониторинга

---

Ключевые моменты для внедрения плана мониторинга

Применение матрицы рисков: Рекомендуется использовать метод FMEA для оценки критических контрольных точек. Например, в цехе по производству полупроводников участок фотолитографии должен быть оснащен лазерным счетчиком частиц для мониторинга частиц размером 0,1 мкм в режиме реального времени.

Характеристики сбора данных: Точки отбора проб должны быть точно определены с использованием трехмерных координат, например, «X=3,2 м, Y=1,5 м, Z=0,8 м (от земли)».

---

Технология установки предупреждающих значений

Согласно рекомендациям в Приложении B:

1. Для чистых помещений класса 5 по стандарту ISO рекомендуется использовать «правило 3/10»: 3 превышения стандарта за 10 циклов мониторинга вызовут раннее предупреждение.
2. Для мониторинга перепада давления требуется сигнализация с задержкой 2–3 секунды, чтобы избежать помех от открытия и закрытия двери.
3. Во время динамического мониторинга допускаются кратковременные колебания концентрации, но требуется немедленное вмешательство, если стандарт превышен в течение 3 последовательных циклов отбора проб.

---

Рекомендации по внедрению стандарта

Цикл проверки:После первой проверки рекомендуется:

• Зона класса A: комплексное тестирование + мониторинг в режиме реального времени каждый квартал.
• Зона класса B: тестирование каждые шесть месяцев + ежемесячное выборочное тестирование. проверки
• Зона класса C/D: ежегодное тестирование + постоянный мониторинг ключевых точек

Выбор прибора:Рекомендуется. При использовании онлайн-системы мониторинга частиц длина пробоотборной трубки не должна превышать 1,5 м, чтобы избежать осаждения частиц размером ≥5 мкм.

GB/T 25915.2-2021 Ссылочный документ

• GB/T 25915.1-2021 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц.

GB/T 25915.2-2021 История

• 2021 GB/T 25915.2-2021 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Мониторинг для получения доказательств эффективности работы чистых помещений, связанной с чистотой воздуха по концентрации частиц.
• 2011 GB/T 25915.2-2010 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Спецификации для испытаний и мониторинга для подтверждения постоянного соответствия GB/T 25915.1.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации

GB/T 25915.2-2021 - Все части