EN 62047-21:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов.
European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）
Последняя версия
EN 62047-21:2014
сфера применения
МЭК 62047-21:2014 определяет определение коэффициента Пуассона на основе результатов испытаний, полученных путем приложения одноосных и двухосных нагрузок к материалам тонкопленочных микроэлектромеханических систем (МЭМС) длиной и шириной менее 10 мм и толщиной менее 10 мм. 10 мкм.
EN 62047-21:2014 История
2014EN 62047-21:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов.