GB/T 33236-2016
Поликристаллический кремний. Определение микроэлементов. Метод масс-спектрометрии тлеющего разряда. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 33236-2016

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2016

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 33236-2016

сфера применения

Обзор стандарта GB/T 33236-2016

Размеры стандартной рамки	Область применения	Аналитические методы	Предел обнаружения
Применимые материалы	Поликристаллический кремний, монокристаллический кремний	Масс-спектрометрия с тлеющим разрядом (GD-MS)	Предел обнаружения определяется прибором и условиями
Измеряемые элементы	Примесные элементы, кроме водорода и инертных газов	Измерение интенсивности ионного тока и анализ данных	Массовая доля: от 0,1% и выше (через калибровочные образцы)
Технические требования	Подготовка образцов высокой чистоты	Стандартизация и калибровка интенсивности ионов	Чувствительность прибора: контроль помех на фоне аргона

Объяснение профессиональной терминологии и примеры применения

Интенсивность ионов: относится к полному потоку ионов определенного элемента, регистрируемому прибором, и является ключевым параметром в масс-спектрометрическом анализе.

Образец-игла: Образец с круглым или квадратным поперечным сечением, обычно используемый для высокочувствительный анализ. Например, использование игольчатого образца в образцах поликремния может повысить эффективность и точность обнаружения.

Предпосылки разработки стандартов и технологическая эволюция

С развитием полупроводниковой промышленности требования к чистоте поликремния становятся все выше. Традиционные методы химического анализа с трудом удовлетворяют требованиям обнаружения следовых количеств элементов, что делает использование высокочувствительной масс-спектрометрии тлеющего разряда неизбежным выбором. Этот стандарт заполняет пробел в этой области внутри страны и обеспечивает научную основу для контроля качества поликремния.

Рекомендации по внедрению

• Подготавливайте образцы строго в соответствии с требованиями стандарта, обеспечивая правильность этапов очистки для предотвращения загрязнения.
• Калибровку прибора следует проводить не реже одного раза в 8 часов, чтобы форма пика и разрешение масс-спектрометрии соответствовали требованиям (≥3500).
• При проведении углубленного анализа рекомендуется отключить функцию предварительного распыления, чтобы снизить влияние загрязнения поверхности образца.
• Для образцов высокой чистоты предпочтительны методы физической резки (такие как а) и б), чтобы избежать введения металлических примесей.

GB/T 33236-2016 Ссылочный документ

• GB/T 6682  Вода для аналитических лабораторий. Спецификация и методы испытаний.
• ISO/TS 15338:2009  Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия тлеющего разряда (GD-MS). Введение в использование.

GB/T 33236-2016 История

• 2016 GB/T 33236-2016 Поликристаллический кремний. Определение микроэлементов. Метод масс-спектрометрии тлеющего разряда.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации