IEC 62047-17:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок.

сфера применения: Эта часть IEC 62047 определяет метод проведения испытаний на выпучивание отдельно стоящей пленки, которая выпучена внутри окна. Образец изготавливается из микроаноструктурных пленочных материалов@, включая металлокерамические и полимерные пленки@ для микромашин МЭМС@ и других. Толщина пленки находится в пределах 0@1 ?? до 10 мм, а ширина прямоугольного и квадратного мембранного окна и диаметр круглого мембранного окна составляют от 0@5 мм до 4 мм. Испытания проводятся при температуре окружающей среды путем приложения равномерно распределенного давления к образцу испытательной пленки с выпуклым окном. С помощью этого метода можно определить модуль упругости и остаточное напряжение пленочных материалов.

IEC 62047-17:2015 Ссылочный документ

IEC 62047-2:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение.

2015 IEC 62047-17:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок.