Настоящий стандарт определяет термины и определения, классификацию продукции, основные требования, технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировку, упаковку, транспортировку, хранение, заказ и поставку, а также обеспечение качества печей для выращивания монокристаллов серии TDR. Настоящий стандарт распространяется на печь для выращивания монокристаллов по методу Чохральского (далее именуемую «печь монокристалла»).
T/ZZB 0044-2016 История
2016T/ZZB 0044-2016 Печи для выращивания кристаллов серии TDR