Датчик газа MEMS, описанный в этом документе, интегрирован и изготовлен путем объединения полупроводниковых газочувствительных материалов микро-наноструктуры с нагревателем с использованием технологии MEMS. Он реализует функцию определения концентрации газа на кремниевом чипе для достижения интеллектуального управления бытовой техникой с обратной связью.
T/CAB 0156-2022 История
2022T/CAB 0156-2022 Металлооксидный МЭМС датчик газа для умной бытовой техники