IEC 62047-37:2020 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 37. Методы экологических испытаний тонких пьезоэлектрических пленок MEMS для применения в датчиках.
2020IEC 62047-37:2020 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 37. Методы экологических испытаний тонких пьезоэлектрических пленок MEMS для применения в датчиках.