DIN 50454-3:1994
Испытание материалов для полупроводниковой техники - Определение плотности дислокационных ямок травления в монокристаллах полупроводников III-V-соединений - Часть 3: Фосфид галлия

Стандартный №

DIN 50454-3:1994

Дата публикации

1994

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

снять со счета

Последняя версия

DIN 50454-3:1994

сфера применения

В документе указана методика определения плотности дислокационных ямок травления 100000 см в монокристаллах фосфида галлия. Метод не зависит от удельного электросопротивления и типа проводимости материала.

DIN 50454-3:1994 История

• 1994 DIN 50454-3:1994 Испытание материалов для полупроводниковой техники - Определение плотности дислокационных ямок травления в монокристаллах полупроводников III-V-соединений - Часть 3: Фосфид галлия