PD IEC TS 62607-9-1:2021 Нанопроизводство. Ключевые характеристики управления. Прослеживаемые измерения рассеянного магнитного поля наномасштаба с пространственным разрешением. Магнитно-силовая микроскопия
2022PD IEC TS 62607-9-1:2021 Нанопроизводство. Ключевые характеристики управления. Прослеживаемые измерения рассеянного магнитного поля наномасштаба с пространственным разрешением. Магнитно-силовая микроскопия