NF X10-510-4*NF ISO 21360-4:2018 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 4. Турбомолекулярные вакуумные насосы.
2018NF X10-510-4*NF ISO 21360-4:2018 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 4. Турбомолекулярные вакуумные насосы.