BS EN ISO 23131:2022 Эллипсометрия. Принципы - Стандарты и спецификации PDF

BS EN ISO 23131:2022
Эллипсометрия. Принципы

Стандартный №
BS EN ISO 23131:2022
Дата публикации
2023
Разместил
British Standards Institution (BSI)
состояние
быть заменен
BS EN ISO 23131:2022(2023)
Последняя версия
BS EN ISO 23131:2022(2023)
сфера применения
1 Область применения Настоящий документ определяет метод определения оптических и диэлектрических проницаемостей в спектральном диапазоне UV-VIS-NIR, а также толщины слоев в области поточного производственного контроля, обеспечения качества и разработки материалов с помощью аккредитованных испытательных лабораторий. Это применимо к автономным измерительным системам. Представление неопределенности результатов соответствует Руководству ISO/IEC 98-3.

BS EN ISO 23131:2022 История

  • 0000 BS EN ISO 23131:2022(2023)
  • 2023 BS EN ISO 23131:2022 Эллипсометрия. Принципы



© 2023. Все права защищены.