Этот стандарт определяет методику измерения содержания углерода и кислорода в монокристаллах кремния с использованием низкотемпературной преобразованной инфракрасной спектроскопии. Он включает в себя описание оборудования, подготовки образцов, проведения измерений и обработки данных. Стандарт устанавливает условия эксперимента, которые обеспечивают точность и воспроизводимость результатов. Также приводятся требования к калибровке приборов и интерпретации полученных спектров. В документе описаны основные этапы анализа и особенности применения метода для определения указанных параметров.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.