Настоящий документ определяет термины и определения кварцевых тиглей для выращивания полупроводникового монокристаллического кремния, а также определяет отклонения по размерам, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортирование и хранение. Настоящий документ распространяется на кварцевые тигли для выращивания полупроводникового монокристаллического кремния с использованием в качестве сырья кварцевого песка высокой чистоты (состав: диоксид кремния), полученного методом дуговой плавки.
T/CEMIA 023-2021 История
2021T/CEMIA 023-2021 Кварцевый тигель для выращивания монокремния полупроводника