ADOPTED_FROM:CEN ISO/TS 80004-8:2020 Этот документ определяет термины, относящиеся к процессам нанопроизводства в области нанотехнологий. Все технологические термины в этом документе относятся к нанопроизводству, однако многие из перечисленных процессов не относятся исключительно к наномасштабу. Термины, которые не являются исключительными, указаны в определениях. В зависимости от контролируемых условий такие процессы могут привести к появлению свойств материала на наноуровне или, альтернативно, на более крупных масштабах. Существует множество других терминов, обозначающих инструменты, компоненты, материалы, методы управления системами или методы метрологии, связанные с нанопроизводством, которые выходят за рамки этого документа. Термины и определения из других частей серии ISO/TS 80004 воспроизведены в разделе 3 для контекста и лучшего понимания.
SN-CEN ISO/TS 80004-8:2020 История
2020SN-CEN ISO/TS 80004-8:2020 Нанотехнологии. Словарь. Часть 8. Нанопроизводственные процессы (ISO/TS 80004-8:2020)
2015SN-CEN ISO/TS 80004-8:2015 Нанотехнологии. Словарь. Часть 8. Нанопроизводственные процессы (ISO/TS 80004-8:2013)