T/GVS 003-2021
Источник ионов для процесса вакуумной обработки поверхности (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/GVS 003-2021

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2021

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/GVS 003-2021

сфера применения

Приводятся термины и определения, классификация, условия использования, технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировка, упаковка, транспортировка и хранение источников ионов, обычно используемых в процессах вакуумной обработки поверхности. Он подходит для обычных источников ионов (далее называемых источниками ионов), используемых в процессах обработки поверхности в вакуумной среде.

T/GVS 003-2021 История

• 2021 T/GVS 003-2021 Источник ионов для процесса вакуумной обработки поверхности