Настоящий документ определяет технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировку, упаковку, транспортировку и хранение, а также безопасность газа монофторметана (далее - монофторметан), используемого в электронной промышленности. Настоящий документ распространяется на монофторметан для электронной промышленности, очищенный и приготовленный из промышленного монофторметана в качестве сырья. Он используется в качестве травильного газа в процессе плазменного травления в электронной промышленности.
T/CHBAS 49-2023 История
2023T/CHBAS 49-2023 Газ фторметан для электронной промышленности