EN 62047-17:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок.

сфера применения: IEC 62047-17:2015 определяет метод проведения испытаний на выпучивание отдельно стоящей пленки, которая выпучена внутри окна. Образец изготавливается из микро/нано структурных пленочных материалов, включая металлические, керамические и полимерные пленки, для МЭМС, микромашин и других. Толщина пленки находится в пределах 0,1 мкм; до 10 мкм, а ширина прямоугольного и квадратного окна мембраны и диаметр круглой мембраны составляют от 0,5 мм до 4 мм. Испытания проводятся при температуре окружающей среды путем приложения равномерно распределенного давления к образцу испытательной пленки с выпуклым окном. С помощью этого метода можно определить модуль упругости и остаточное напряжение пленочных материалов.

EN 62047-17:2015 История

2015 EN 62047-17:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок.