Химический состав вольфрамовой пластины сверхвысокой чистоты для материала мишени.Размеры и допустимые отклонения вольфрамовой пластины сверхвысокой чистоты для материала мишени должны соответствовать требованиям технических чертежей, подписанных поставщиком и покупателем.Продукция без допусков. должен соответствовать требованиям GB/T1804-2000 № к отклонению f (точности) в таблице 1, таблице 2 и таблице 3 в главе 5. Размер зерен вольфрамовой пластины сверхвысокой чистоты, используемой в качестве мишени, должен соответствовать требованиям таблицы 2, а распределение зерен по размерам должно быть равномерным. Внутри вольфрамовой пластины сверхвысокой чистоты для мишени не должно быть дефектов, таких как расслоение, растрескивание и поры. Плотность вольфрамовой пластины сверхвысокой чистоты, используемой для мишени, должна быть больше 19,15 г/см3, а диапазон колебаний плотности той же партии вольфрамовой пластины не должен превышать 0,3 г/см3. На поверхности вольфрамовой пластины сверхвысокой чистоты, используемой в качестве мишени, не допускаются такие дефекты, как переплавление, пузырение, расслоение, трещины и вкрапления предметов. Шероховатость поверхности Ra вольфрамовой пластины сверхвысокой чистоты, используемой для мишени, не должна превышать 1,6 мкм, и если есть особые требования, она должна определяться поставщиком и покупателем путем переговоров.
T/CHBAS 17-2022 История
2022T/CHBAS 17-2022 Вольфрамовая пластина сверхвысокой чистоты для мишени