T/ZZB 1373-2019 (Англоязычная версия) Сверхчистый аммиак фотоэлектрического класса 7N

сфера применения: Настоящий стандарт устанавливает основные требования, технические требования, методы испытаний, правила проверки, знаки, упаковку, транспортировку, хранение и транспортировку, требования безопасности и обязательства по качеству сверхчистого аммиака оптоэлектронного класса 7N. Продукт аммиак, указанный в этом стандарте, подходит для полупроводниковой промышленности, химического осаждения из паровой фазы нитрида кремния и нитрида галлия, а газообразный аммиак используется в производственных процессах, таких как азотирование кремния или оксида кремния. Молекулярная формула: NH3. Относительная молекулярная масса: 17,031 (согласно международному относительному атомному весу в 2016 г.).

T/ZZB 1373-2019 История