Настоящий документ применим к рентгеновским дифрактометрам, рентгенофлуоресцентным анализаторам, устройствам ионной имплантации, электронно-лучевым сварочным аппаратам, устройствам для устранения статического электричества, электронным микроскопам, толщиномерам, весам, апертурным измерителям и измерительным приборам с энергией от 5 кэВ до 1 МэВ. метр и другие лучевые устройства