Данный стандарт устанавливает метод определения содержания хлороводорода в газе водорода, полученного в процессе переработки поликристаллического кремния, с использованием газовой хроматографии. В документе приведены общие требования к проведению анализа, описание оборудования и реактивов, необходимых для выполнения измерений, а также порядок проведения хроматографического анализа. Указанные в стандарте процедуры обеспечивают точность и воспроизводимость результатов, получаемых при определении концентрации хлороводорода. Стандарт предназначен для применения в лабораториях, занимающихся контролем качества газа водорода, полученного в ходе технологических процессов, связанных с производством поликристаллического кремния.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.