T/CIET 722-2024
Высокочистые распыляемые мишени для полупроводников (Англоязычная версия)

Стандартный №: T/CIET 722-2024
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2024
Разместил: Group Standards of the People's Republic of China
Последняя версия: T/CIET 722-2024

сфера применения: Настоящий документ определяет технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортирование и хранение мишеней распыления высокой чистоты для полупроводников. Настоящий документ распространяется на мишени распыления высокой чистоты для полупроводников.

T/CIET 722-2024 История

2024 T/CIET 722-2024 Высокочистые распыляемые мишени для полупроводников

Специальные темы по стандартам и нормам

Сверхчистая вода и полупроводники Чистота полупроводникового материала Титановая мишень для распыления Мишень из титана высокой чистоты полупроводник сверхчистой воды Полупроводниковая сверхчистая вода Мишень из титана высокой чистоты Мишень из титана высокой чистоты Полупроводник кислорода высокой чистоты Твердые и газовые мишени Полупроводниковая медная мишень

стандарты и спецификации

ASTM F2113-11 Стандартное руководство по анализу и отчетности по содержанию примесей и классу чистоты металлических распыляемых мишеней для электронных тонкопленочных DS/EN ISO 8130-10:2011 Порошки для покрытия. Часть 10. Определение эффективности осаждения ASTM F1761-00 Стандартный метод испытаний на сквозной поток круглых мишеней магнитного распыления SS-EN ISO 8130-10:2010 Порошки для покрытий. Часть 10: Определение эффективности осаждения (ISO 8130-10:1998 NS-EN ISO 8130-10:2010 Порошки для покрытия. Часть 10. Определение эффективности осаждения (ISO 8130-10:1998 BS EN ISO 8130-10:2010 Порошковые покрытия. Определение эффективности осаждения BS 3900-J10:1998 Методы испытаний красок. Испытания порошков для покрытий. Определение эффективности осаждения порошков для покрытий ASTM F1512-94(2011 Стандартная практика ультразвуковой оценки сцепления узлов мишени с опорной пластиной методом C-сканирования ASTM F3166-16 Стандартные спецификации для распыляемой мишени из титана высокой чистоты, используемой для металлизации сквозных отверстий кремния (TSV SEMI E49.1-1995 РУКОВОДСТВО ПО ОКОНЧАТЕЛЬНОЙ СБОРКЕ, УПАКОВКЕ И ДОСТАВКЕ ИНСТРУМЕНТА

© 2025. Все права защищены.