T/JSSES 16-2021
Технические требования и метод испытаний для комплексной утилизации отходов серной кислоты в производстве интегральных схем (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/JSSES 16-2021

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2021

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/JSSES 16-2021

сфера применения

Показатели позиции серная кислота (H2SO4) массовая доля/% ≥50 массовая доля перекиси водорода/% ≤0,1 зола массовая доля/% ≤0,05 массовая доля меди (Cu)/% ≤0,0005 массовая доля железа (Fe)/% ≤0,01 мышьяк ( As) массовая доля/% ≤0,0005 Массовая доля свинца (Pb)/% ≤0,01 Массовая доля ртути (Hg)/% ≤0,005 Массовая доля кадмия (Cd)/% ≤0,0005 Массовая доля хрома (Cr)/% ≤0,0025 Никель ( Ni) массовая доля/% ≤0,0025 Общий органический углерод (ТОС)/(мг/л) ≤500 Прозрачность/мм ≥30

T/JSSES 16-2021 История

• 2021 T/JSSES 16-2021 Технические требования и метод испытаний для комплексной утилизации отходов серной кислоты в производстве интегральных схем