BS IEC 63068-3:2020
Полупроводниковые приборы. Критерии неразрушающего распознавания дефектов гомоэпитаксиальной пластины карбида кремния для силовых устройств - Метод контроля дефектов с использованием фотолюминесценции
- Стандартный №
- BS IEC 63068-3:2020
- Дата публикации
- 2020
- Разместил
- British Standards Institution (BSI)
- Последняя версия
- BS IEC 63068-3:2020
- сфера применения
- Что такое BS IEC 63068-3? BS IEC 63068-3 — это международный стандарт для полупроводниковых устройств, определяющий методы испытаний, помогающие обнаруживать дефекты в гомоэпитаксиальных пластинах карбида кремния. BS IEC 63068-3 — это третья часть многосерийного стандарта полупроводниковых приборов. BS IEC 63068-3 содержит определения и рекомендации по использованию фотолюминесценции для обнаружения дефектов в коммерчески доступных эпитаксиальных пластинах 4H-SiC (карбид кремния). Для кого предназначен стандарт BS IEC 63068-3?
BS IEC 63068-3:2020 История
- 2020 BS IEC 63068-3:2020 Полупроводниковые приборы. Критерии неразрушающего распознавания дефектов гомоэпитаксиальной пластины карбида кремния для силовых устройств - Метод контроля дефектов с использованием фотолюминесценции
