В этом документе указаны технические требования, методы испытаний, правила контроля, знаки, упаковка, транспортировка и хранение плавиковой кислоты, применяемой в интегральных схемах. Этот документ распространяется на плавиковую кислоту, используемую при изготовлении интегральных схем. Молекулярная формула: HF. Относительная молекулярная масса: 20,01 (согласно международной относительной атомной массе 2014 г.).