IEC 62047-30:2017
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 30. Методы измерения характеристик электромеханического преобразования тонкой пьезоэлектрической пленки МЭМС.
- Стандартный №
- IEC 62047-30:2017
- Дата публикации
- 2017
- Разместил
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Последняя версия
- IEC 62047-30:2017
IEC 62047-30:2017 История
- 2017 IEC 62047-30:2017 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 30. Методы измерения характеристик электромеханического преобразования тонкой пьезоэлектрической пленки МЭМС.
