ISO 17862:2022
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Линейность шкалы интенсивности в времяпролетных масс-анализаторах с подсчетом одиночных ионов.

Стандартный №

ISO 17862:2022

Дата публикации

2022

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 17862:2022

сфера применения

Анализ основного содержания стандарта

1. Область применения

Настоящий международный стандарт устанавливает метод определения пределов линейности шкалы интенсивности времяпролетных вторичных ионных масс-спектрометров со счетом одиночных ионов (TOF-SIMS) с использованием тестирования изотопного отношения политетрафторэтилена (ПТФЭ). В частности, предусмотрена схема нелинейной коррекции для эффектов мертвого времени, присутствующих в микроканальных пластинах (МКП) или сцинтилляционных фотоумножительных трубках (СМФТ), соединенных с системой детектирования время-цифрового преобразователя (ВЦП).

Технические особенности: После коррекции максимальная скорость счета при 95% линейности может быть увеличена до 50 раз.

---

Основные технические требования

Размеры	До коррекции	После коррекции
Максимальная скорость счета (сМ)	≤0,098	≤0,9998
Коэффициент улучшения линейности	Эталонный показатель	До 50x
Применимая система обнаружения	Система MCP/TDC

---

Ключевые моменты для внедрения стандарта

2. Процедура испытания

1. Подготовка образца: используйте необработанную ленту ПТФЭ, чтобы избежать загрязнения отпечатками пальцев
2. Настройка прибора:
   • Диапазон тока первичного ионного пучка: 0,1–0,99 отсчетов/импульс
   • Область анализа: площадь 200 мкм × 200 мкм
   • Общий поток: <1×10¹⁶ ионов/м²
3. Сбор данных: измерьте 10 характерных пиков, включая CF₃⁺ (см. таблицу 1)
4. Проверка линейности: проверена по соотношению изотопов (12C/13C)

---

Формула коррекции мертвого времени

Основное уравнение коррекции:

I_P = -N·ln(1-I_M/N)

Где:

• I_P: скорректированная интенсивность
• I_M: измеренная интенсивность
• N: общее количество первичных импульсов

---

Анализ развития технологий

Основные улучшения по сравнению с версией стандарта 2013 года:

• Упрощенный процесс испытаний, удалена справочная информация из исходного Приложения BD
• Все диаграммы строго соответствуют спецификациям чертежей ISO
• Уточнен метод определения времени запаздывания τ (типичное значение 65,6 нс)

---

Рекомендации по внедрению

3. Требования к контролю качества

• Цикл повторного тестирования: Модификация системы обнаружения или не реже одного раза в год
• Достоверность данных: Количество пиков изотопа 13C должно быть >1000
• Перекрестная проверка: Рекомендуется проводить испытания на повторяемость в соответствии с ISO 23830

Примечания: Если скорость счета пиков CF₃⁺ составляет >5% от максимально допустимого значения, нелинейность может превышать 1%

ISO 17862:2022 Ссылочный документ

• ISO 13084 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Калибровка шкалы масс для времяпролетного масс-спектрометра вторичных ионов.
• ISO 23830 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Повторяемость и постоянство шкалы относительной интенсивности в статической масс-спектрометрии вторичных ионов.

ISO 17862:2022 История

• 2022 ISO 17862:2022 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Линейность шкалы интенсивности в времяпролетных масс-анализаторах с подсчетом одиночных ионов.
• 2013 ISO 17862:2013 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Линейность шкалы интенсивности в времяпролетных масс-анализаторах с подсчетом одиночных ионов.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации