Настоящий международный стандарт распространяется на производство синтетических пластин кварца@ ниобата лития (LN)@ танталата лития (LT)@ тетрабората лития (LBO)@ и монокристаллических пластин силиката галлия лантана (LGS), предназначенных для использования в качестве подложек при производстве поверхностных акустических материалов. волновые (ПАВ) фильтры и резонаторы.
EN 62276:2013 История
2016EN 62276:2016 Монокристаллические пластины для устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Технические характеристики и методы измерения
2013EN 62276:2013 Монокристаллические пластины для устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Технические характеристики и методы измерения
2005EN 62276:2005 Медицинское электрооборудование. Безопасность систем регистрации и проверки лучевой терапии.