GB/T 41853-2022
Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Измерение прочности соединения между пластинами. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 41853-2022
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2022
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 41853-2022
- сфера применения
- В этом документе описан метод измерения прочности соединения после соединения пластин, применимый к различным методам соединения пластин, таким как эвтектическое соединение кремний-кремний, анодное соединение кремний-стекло и родственным структурам в процессе MEMS и процессе сборки. Оценка прочности соединения размеров. Этот документ подходит для измерения прочности соединения между пластинами толщиной от десяти микрон до нескольких миллиметров.
GB/T 41853-2022 История
- 2022 GB/T 41853-2022 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Измерение прочности соединения между пластинами.
