ASTM F847-02

Стандартный №

ASTM F847-02

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F847-02

сфера применения

1.1 Настоящие методы испытаний охватывают определение а, углового отклонения между кристаллографической ориентацией направления, перпендикулярного плоскости контрольной плоскости на круглой кремниевой пластине, и заданной ориентацией плоскости в плоскости поверхности пластины. 1.2 Данные методы испытаний применимы для пластин со значениями плоской длины в диапазоне значений, указанных для кремниевых пластин в спецификации SEMI M 1. Они подходят для использования только на пластинах с угловыми отклонениями менее 65°. 1.3 Точность ориентации, достигаемая этими методами испытаний, напрямую зависит от точности, с которой плоская поверхность может быть совмещена с эталонной планкой, и от точности ориентации эталонной планки относительно рентгеновского луча. 1.4 Описываются два метода испытаний: Разделы Метод испытаний A — Метод краевой дифракции рентгеновских лучей с 8 по 13 Метод испытаний B — Рентгеновский метод с обратным отражением Лауэ с 14 по 18 1.4.1 Метод испытаний A является неразрушающим и аналогичен испытанию. Метод А из методов испытаний F 26, за исключением того, что в нем используются специальные приспособления для удержания пластины, позволяющие однозначно ориентировать пластину относительно рентгеновского гониометра. Этот метод позволяет измерять кристаллографическое направление плоскостей с большей точностью, чем метод обратного отражения Лауэ. 1.4.2 Метод испытаний B также является неразрушающим и аналогичен методу испытаний E 82 и DIN 50 433, часть 3, за исключением того, что в нем используется «мгновенная» пленка и специальное приспособление для ориентации плоскости относительно рентгеновского излучения. луч. Хотя он проще и быстрее, он не обладает точностью метода испытаний А, поскольку в нем используются менее точные и менее дорогие приспособления и оборудование. Он производит постоянную видеозапись испытания. ПРИМЕЧАНИЕ 1 – Фотография Лауэ может интерпретироваться как предоставление информации о кристаллографических направлениях разориентации пластины; однако это выходит за рамки настоящего метода испытаний. Пользователи, желающие выполнить такую интерпретацию, должны обратиться к методу испытаний E 82 и DIN 50 433, часть 3, или к стандартному учебнику по рентгеновским исследованиям. 2, 3. При использовании различных креплений для крепления пластин метод испытаний B также применим для определения ориентации поверхности пластины. 1.5 Значения, указанные в единицах дюйм-фунт, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность см. в разделе 6.

ASTM F847-02 Ссылочный документ

• ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса*， 2000-10-10 Обновление
• ASTM E82 Стандартный метод испытаний для определения ориентации металлического кристалла*， 1991-10-26 Обновление
• ASTM F26 

ASTM F847-02 История

• 1970 ASTM F847-02
• 1994 ASTM F847-94(1999) Стандартные методы испытаний для измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами