T/GVS 007-2022
Метод испытания динамического сопротивления радиочастотного генератора (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- T/GVS 007-2022
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2022
- Разместил
- Group Standards of the People's Republic of China
- Последняя версия
- T/GVS 007-2022
- сфера применения
- Определяет термины и определения, принципы, условия окружающей среды для испытаний, инструменты и оборудование, методы испытаний и протоколы испытаний метода испытания динамического импеданса радиочастотного источника питания. Он подходит для тестирования динамического импеданса радиочастотных источников питания с выходной частотой от 0,2 МГц до 100 МГц в таких приложениях, как травление полупроводников и осаждение тонких пленок.
T/GVS 007-2022 История
- 2022 T/GVS 007-2022 Метод испытания динамического сопротивления радиочастотного генератора
