Настоящий документ устанавливает технические требования, методы испытаний, правила контроля, требования к маркировке, упаковке, транспортированию и хранению смеси этилена с гелием 2,7%. Этот документ применим к газовой смеси этилена и гелия с содержанием 2,7%, используемой в электронной промышленности (далее называемой газовой смесью этилена и гелия с содержанием 2,7%), а для реализации может быть использована газовая смесь этилена и гелия с другими соотношениями компонентов.
T/CHBAS 24-2022 История
2022T/CHBAS 24-2022 Газовая смесь электронной промышленности 2,7% этилен/гелий