В этом документе указаны технические требования, методы испытаний, отбор проб, оценка и повторные испытания, маркировка, упаковка, транспортировка и требования к хранению газовой смеси с содержанием кислорода и гелия 30% для интегральных схем. Этот документ применим к газовой смеси кислорода и гелия с содержанием 30 % для интегральных схем. В качестве эталона можно использовать газовую смесь кислорода и гелия с другими пропорциями компонентов.