Действующая техническая спецификация МЭК ТС 62876-3-2:2026 устанавливает стандартизированный метод определения объёмной доли графена с помощью эллипсометрии. Измерения толщины и состава проводятся эллипсометрией до и после испытания на стабильность. На основе расчётов по модельным алгоритмам оценивается объёмная доля графена. Поскольку метод является неразрушающим, он может применяться для оценки надёжности и долговечности плёнок графена на производственных линиях. Например, в полупроводниковом инжиниринге для медных соединений (Cu interconnects) с графеновым защитным покрытием (графеновая крышка) проводится оценка надёжности и долговечности самого защитного слоя. Метод также применяется в исследованиях и разработках газовых сенсоров, газовых барьеров, прозрачных электродов для солнечных элементов и т.п. Описанный подход позволяет проводить неразрушающую количественную оценку объёмной доли графена для целей проверки надёжности и долговечности.