ISO 23131:2021
Эллипсометрия — принципы
- Стандартный №
- ISO 23131:2021
- Дата публикации
- 2021
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- Последняя версия
- ISO 23131:2021
- сфера применения
- В этом документе указан метод определения оптических и диэлектрических проницаемостей в спектральном диапазоне UV-VIS-NIR, а также толщины слоев в области поточного производственного контроля, обеспечения качества и разработки материалов с помощью аккредитованных испытательных лабораторий. Это применимо к автономным измерительным системам. Представление неопределенности результатов соответствует Руководству ISO/IEC 98-3.
ISO 23131:2021 История
- 2021 ISO 23131:2021 Эллипсометрия — принципы
