NF EN 62047-26:2016 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 26. Описание и методы измерения микротраншейных и микроигольчатых структур.
2016NF EN 62047-26:2016 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 26. Описание и методы измерения микротраншейных и микроигольчатых структур.