DIN 50450-4:1993-09 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение C(Индекс)1-С(Индекс)3-углеводородов в азоте методом газовой хроматографии
1993DIN 50450-4:1993-09 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение C(Индекс)1-С(Индекс)3-углеводородов в азоте методом газовой хроматографии
1993DIN 50450-4:1993 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение CC-углеводородов в азоте методом газовой хроматографии