TS 62607-6-4-2016 Нанопроизводство – Ключевые характеристики контроля – Часть 6-4: Графен – Измерение поверхностной проводимости с использованием резонансной полости (Редакция 1.0)
Эта часть IEC 62607 устанавливает метод определения поверхностной проводимости двумерных (2D) однослойных или многослойных атомно тонких наноуглеродных графеновых структур. Их синтезируют методом химического осаждения из паровой фазы (CVD)@, эпитаксиального роста на карбиде кремния (SiC)@, полученном из восстановленного оксида графена (rGO) или механически расслаенного из графита [3]. Измерения проводятся в заполненном воздухом стандартном прямоугольном волноводе R100 @ на одном из режимов резонансной частоты @ обычно на частоте 7 ГГц [4]. Измерение поверхностной проводимости резонансной полостью предполагает мониторинг сдвига резонансной частоты и изменения добротности до и после помещения образца в полость в количественной корреляции с площадью поверхности образца. Это измерение не зависит явно от толщины наноуглеродного слоя. Толщину образца не обязательно знать, но предполагается, что поперечный размер является однородным по всей площади образца.
TS 62607-6-4-2016 История
2016TS 62607-6-4-2016 Нанопроизводство – Ключевые характеристики контроля – Часть 6-4: Графен – Измерение поверхностной проводимости с использованием резонансной полости (Редакция 1.0)