Настоящий стандарт устанавливает термины и определения, требования, методы испытаний, правила контроля, знаки, упаковку, транспортировку и хранение комплектных комплектов оборудования для производства плоских масок (далее - оборудование для производства масок). Настоящий стандарт распространяется на комплекты оборудования для производства плоских масок.