Настоящий международный стандарт обеспечивает основу для внедрения наноэлектроники в крупномасштабное@ крупносерийное производство на предприятиях по производству полупроводников посредством внедрения наноматериалов (например, углеродных нанотрубок@графена@квантовых точек@ и т.д.). Поскольку предприятия по производству полупроводников должны применять методы, обеспечивающие высокий выход продукции, к ведению производства предъявляются очень строгие требования. Наноматериалы представляют собой потенциальный загрязнитель на предприятиях по производству полупроводников, и их необходимо внедрять структурированным и методичным образом. Настоящий международный стандарт описывает шаги, используемые для облегчения внедрения наноматериалов на предприятия по производству полупроводников. Эта последовательность описана ниже в разделах приобретения сырья@ обработки материалов@ проектирования@ изготовления ИС@ тестирования@ и конечного использования. Эта деятельность представляет собой основные этапы цепочки поставок на предприятиях по производству полупроводников.
IEC 62659:2015 История
2015IEC 62659:2015 Нанопроизводство - Крупномасштабное производство наноэлектроники (Редакция 1.0)
2013IEC 62659:2013 Проект стандарта IEEE/IEC для крупномасштабного производства наноэлектроники