В этом документе указаны термины и определения, характеристики материалов, основные требования, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировка, упаковка, транспортировка и хранение, а также обязательства по качеству графитового порошка сверхвысокой чистоты для монокристаллов карбида кремния полупроводникового качества. . Настоящий документ относится к графитовому порошку монокристалла карбида кремния полупроводникового качества с чистотой 5 N (99,999 мас.%) или выше.