В этом документе установлены технические требования, правила проверки, требования к маркировке, упаковке, транспортировке, хранению и технике безопасности для карбонилфторида электронного качества. Настоящий документ распространяется на карбонилфторид электронной чистоты, синтезированный и очищенный с использованием монооксида углерода и трифторида азота в качестве сырья.